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装置・料金一覧

  • 基盤作製
  • LED結晶成長
  • LEDデバイスプロセス
  • LED実装及び評価

※設備利用料の内容は、光熱水費、共通の消耗品、保守料金、出向者の人件費の概算金額です。
※装置毎の単価は、毎年見直しを行います。(12月までの実績により翌年度分を決定)
※下記料金には各装置にかかる消耗品費・原料代・クリーンルーム使用時の電気料金は含まれておりませんので別途徴収いたします。詳細につきましては直接お尋ねください。

No. カテゴリ 装置名 台数 料金
(1時間あたり)
画像 詳細
1
  • LED結晶成長
LED成長過程リアルタイムX線評価MOCVD装置 1 7,100円 詳細を見る
MOCVD装置用in-situモニタ装置
LED成長過程リアルタイムX線評価装置
2
  • LED結晶成長
有機金属気相成長MOCVD装置 1 8,300円 詳細を見る
3
  • LEDデバイスプロセス
スパッタリング装置 1 2,500円 詳細を見る
4
  • LEDデバイスプロセス
マスクアライナー装置 1 300円 詳細を見る
5
  • LEDデバイスプロセス
高真空蒸着装置 1 1,700円 詳細を見る
6
  • 基板作製
熱処置装置 1 4,300円 詳細を見る
7
  • LEDデバイスプロセス
赤外線ランプアニール装置 1 3,200円 詳細を見る
8
  • LED実装及び評価
片面高速ラッピング装置 1 700円 詳細を見る
No. カテゴリ 装置名 台数 料金
(1時間あたり)
画像 詳細
9
  • LED実装及び評価
横型平面研削装置 1 700円 詳細を見る
10
  • LED実装及び評価
Sapphire・SiCウェハ切断加工用レーザスクライブ装置 1 2,400円 詳細を見る
11
  • LED結晶成長
PLと透過率ウェハPLマッピング装置 1 1,300円 詳細を見る
12
  • 基板作製
  • LED結晶成長
  • LEDデバイスプロセス
  • LED実装及び評価
微分干渉顕微鏡 4 100円 詳細を見る
13
  • LED結晶成長
薄膜材料評価用X線回折装置 1 1,100円 詳細を見る
14
  • LEDデバイスプロセス
触針式表面形状測定器 1 300円 詳細を見る
15
  • LED結晶成長
  • LEDデバイスプロセス
3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡 1 600円 詳細を見る
16
  • 基板作製
  • LED結晶成長
全固体連続発振UBレーザ 1 1,100円    
No. カテゴリ 装置名 台数 料金
(1時間あたり)
画像 詳細
17
  • LED結晶成長
カソードルスミネッセンス観察分析システム 1 2,300円 詳細を見る
18
  • 基板作製
  • LED結晶成長
SiCライフタイム測定装置 1 1,100円    
19
  • LED結晶成長
ナノインプリント装置 1 1,500円 詳細を見る
20
  • LED結晶成長
  • LEDデバイスプロセス
膜厚モニター 1 300円    
21
  • LED実装及び評価
積分球 1 200円    
22
  • LED実装及び評価
LEDテスター 1 100円    
23
  • LED実装及び評価
ウェハー拡張装置 1 100円    
24
  • LEDデバイスプロセス
スピンコーター 1 100円    

施設利用料金

料金内容 大企業 中小企業
施設利用登録料(年) 500千円 200千円
研究員登録料(人・年) 400千円 400千円
  • ※大企業、中小企業の区分は、中小企業庁の定義による。
  • ※登録料は、3年毎に見直す。
  • ※共同研究期間は、月単位も可能とし、その場合の登録料は月割とする。
    なお、支払金額百円の位以下は切り捨てとする。

研究室(レンタルルーム)利用料金

料金内容 1坪当たり(3.3m2
研究室基準利用料(月) 賃料 8,000円
共益費 1,800円

利用料が、1月に満たない場合は日割算定とする。なお、支払金額百円の位未満は切り捨てとする。